


| 项目 | 内容 | |
|---|---|---|
| 分解能*3 |
4.0 nm @ 20 kV (SE:高真空模式) 15.0 nm @ 1 kV (SE:高真空模式) 5.0 nm @ 20 kV (BSE:低真空模式) |
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| 加速电压 | 0.3 kV ~ 20 kV | |
| 放大倍率 |
6× ~ 300,000× (底片倍率) 16× ~ 800,000× (显示倍率) |
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| 低真空模式 | 真空范围:6 ~ 100 Pa | |
| 电子枪 | 预对中钨灯丝 | |
| 样品台 |
3-轴自动马达台 X:0 ~ 40 mm, Y:0 ~ 50 mm, Z:5 ~ 15 mm R:360°, T:-15° ~ +90° |
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| 最大样品尺寸 | 直径80 mm | |
| 最大样品高度 | 40 mm | |
| 尺寸 |
主机:450(W) x 640(D) x 670(H) mm 供电单元:450(W) x 640(D) x 450(H) mm |
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| 探测器选配 | ||
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