| 型号 | V1000 | V1000X | V1000XS |
| 等离子模式 | DP/RIE | ||
| 高频电源 | 13.56MHz | ||
| 输出功率 | Max1000W | Max1000 & 1500W | |
| 有效电极尺寸 | W280×D280mm | W300×D300mm | W400×D375mm |
| 电极 | 平行平板 | 2段电极（独立） | 平板（多目的） |
| 反应气体 | 聚合控制器2系统（填充气路另行安装） | ||
| 真空泵（标配） | 约1000L/min | 约1500L/min | 1000 & 1500L/min |
| 安全装置 | 门检测开关、联锁机构、紧急停止开关、温度过升防止器等 | ||
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