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型号 |
PM100 |
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等离子发生源 |
低频高电压电源，输出约100W，周波数60KHz、输出电压10kV |
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电机构造 |
电容型 2分割 |
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气体流量计 |
氧气用、流量30～300mL/min |
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真空调整阀门 |
抽真空用，回大气用 |
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反应腔尺寸 |
内径100mm×深度最大约200mm |
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外形尺寸（宽×深×高mm） |
310×300×448 |
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电源 50/60Hz |
AC100V 10A（含真空泵Max7A） |
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真空泵接口 |
外径Φ6.35mm（推荐真空泵排气速度30L/min） |
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气体接口 |
外径Φ6.35m |
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