

SEM4000X场发射扫描电子显微镜基于全新的G2 技术平台,是微区分析检测场景的理想选择,在保证稳定运行与便捷操作的基础上,通过集成了多探测器系统与样品减速功能,突破低加速电压下的分辨率限制。在兼顾性能可靠性与使用成本的前提下,为现代材料分析实验室提供可靠的解决方案。
产品优势
1.强大的表面解析与
低压高分辨形貌表征能力
2.视场恒定不丢焦样品表征更精准
3.多维度扩展生态
可应对多种测样要求
4.多重安全保障系统测样更安全
多探测器系统
突破单一信号局限,可实现形貌与成分衬度同屏呈现,帮助用户在单次观测中获取样品的表面结构与材料成分分布特征。
支持双减速技术
采用镜筒高压管设计,可确保电子在镜筒内保 持高速运动。配合末端瞬间减速,大幅提升低着陆电压下的分辨率,轻松表征样品的形貌。
五轴机械优中心位移台
凭借高精度机械架构实现优中心旋转。倾斜样品时目标区域始终居中不失焦,解决了图像漂移痛点,实现了对样品精准稳定的表征。

镜筒内电子探测器(Inlens)

SBA-15分子筛/500 V/未喷金/样品台减速
仓室内二次电子探测器(ETD)

BN陶瓷纳米片,利用ETD探测器表征片层结构。
插入式背散射电子探测器(BSED)

基于BSED的ECCI 电子通道衬度模式

多视窗同时成像

插入式扫描透射电子探测器(STEM)
选配

多种工作模式

能谱(EDS)选配

低真空(EBSD)选配

阴极荧光(CL)

轨迹球&旋钮板&快换样品仓

多种类样品托

关键尺寸测量软件

颗粒和孔隙分析软件

应用案例
电子半导体
在半导体行业内,制程工艺会伴随各种微观缺陷,为了保障芯片的高良率,会引入专业的微观表征设备进行检测,其中利用扫描电镜进行高分辨形貌分析是不可或缺的排查手段

锂电池/新能源材料
在新能源与锂电池制造中,材料的微观缺陷极易引发热失控,为了保障电芯的极致安全与性能,需要利用扫描电镜进行正负极材料和隔膜材料的检测。

高分子材料
在高分子材料研发与改性中,微观形貌与断口结构直接决定性能,为了探究其内在机理,利用扫描电镜进行低电压形貌观察是非常重要的表征方法。

生命科学
在生命科学中,组织形态与成分的微观结构直接关乎生理演变。借助扫描电镜可深度还原生物样品的微观形貌。

金属材料
在金属材料研发与制造中,零部件常遭遇疲劳或腐蚀失效,为了探究其根本原因,需要借助专业的显微结构表征设备进行检测,其中扫描电镜是极为重要的设备之一。

功能材料与新材料
在功能与新材料的研发中,微观形貌与特殊结构直接决定其最终性能。扫描电镜作为专业表征工具,可以很好的对新材料的微观形貌表征

| 关键参数 | 电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 |
|
分辨率 |
0.7 nm@15 kV | |
| 1.1 nm@1 kV | ||
| 1.9 nm@500 V | ||
| 加速电压 | 20 V ~ 30 kV | |
| 放大倍率 | 1 ~2,500,000 x | |
| 位移台(大行程可选) | 位移台类型 | 五轴机械优中心位移台 |
| 探测器 | 镜筒内电子探测器(Inlens) | ● |
| 旁侧电子探测器(ETD) | ● | |
| 插入式背散射电子探测器(BSED) | ○ | |
| 插入式扫描透射电子探测器(STEM) | ○ | |
| 能谱仪(EDS) | ○ | |
| 背散射衍射(EBSD) | ○ | |
| 扩展 | 样品台减速模式 | ○ |
| 低真空模式 | ○ | |
| 样品交换仓 | ○ | |
| 旋钮板&轨迹球 | ○ |
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