FIB双束电镜Scios 3C

通过自动化的工作流程，最大限度地提升生产力
Thermo Scientific™ Scios™ 3C双束电镜(FIB-SEM)凭借可靠的全自动工作流程，有效简化操作的复杂度，帮助用户建立流畅高效的工作流程，让客户只需专注于实验结果。该系统能够提供可重现的高质量数据，确保在样品亚表层分析、三维重构表征和TEM 薄片制备等应用表现卓越的性能。Scios 3C双束电镜采用灵活性的设计，可对各种材料进行全面分析，是多元化科学研究和工业领域应用的理想解决方案。
具备超高分辨率性能，并可提供完整的样品信息
截面制备和分析是双束电镜最重要的功能之一，它可以实现对材料亚表层的内部特征进行成像和分析。Thermo Scientific 的自动截面分析 (Auto Cross Section)软件可自动完成截面制备和制备位点的SEM 图像拍摄。该软件的设计兼顾了易用性和可靠性,不仅使新手用户能轻松获得高质量的分析结果。更能通过数据采集自动化帮助资深用户提升工作效率并优化仪器的使用效率。
为了更好地理解样品的结构和性质，通常需要对样品进行三维重构表征。Scios 3C双束电镜可选配 Thermo Scientific™ Auto Slice & View™ 5 软件，能够高质量、全自动的采集多模态的三维数据集。其中包括：表征成分衬度的BSE图像，用于获取成份信息的能谱数据 (EDS) 以及用于获取显微结构和晶体学信息的电子背散射衍射(EBSD)数据。结合 Thermo Scientific™ Avizo™ 软件，可为高分辨率高阶三维表征和分析提供了独特的工作流程和解决方案。

高质量 (S)TEM 样品制备
科学家和工程师不断面临新的挑战，需要对特征越来越小而复杂性日益提高的样品进行高度局部化的表征。Scios 3C 双束电镜采用最新的创新技术，搭载最简单易用的 Thermo Scientific ™AutoTEM ™ 5 软件，加上我们的应用技术，能够快速、可靠地为各种材料制备定点的 HR-S/TEM 薄片样品。
为获得高质量的结果，需要用低能量的离子束对样品进行最终抛光，尽可能减少样品表面的损伤。Sidewinder HT 聚焦离子束镜筒在制备高质量 (S)TEM 薄片具有出色的性能。
提升所有用户的工作效率
无论用户经验水平如何，Scios 3C 双束电镜的流畅性操作能帮助客户更快、更轻松地获得高质量且可重复的结果。独特的 SEM 和FIB 自动校准功能，可确保仪器始终处于最佳的工作状态。此外还内置有用户指南，让新手用户能够快速上手并高效开展工作。
技术规格
电子光学
NICol 镜筒是超高分辨率的非浸没式场发射 SEM 镜筒，配备：
• 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率分析电流
• 60°双物镜设计，支持倾斜较大的样品
• 自动加热的物镜光阑，可确保光阑保持清洁，并可实现非接触式更换
• 持续的电子束束流控制和经过优化的孔径角度
• 可轻松安装和维护的电子枪，具有自动烘烤、自动启动功能，且无需机械对中
• 双级扫描偏转
• 具备电磁透镜和静电透镜的双物镜
• 用户指南和镜筒预设
• 电子枪最短寿命：24 个月
电子束分辨率
最佳工作距离
• 30 keV 下 STEM 分辨率为 0.7 nm
• 1 keV 下分辨率为 1.4 nm
• 1 keV 下分辨率为 1.2 nm（选配电子束减速模式）
电子束参数
• 束流电流范围：1 pA - 400 nA
• 实际着陆能量范围：20 eV（选配）- 30 keV
• 加速电压范围：200 V - 30 kV
• 最大水平视野宽度：在 7 mm 工作距离下为 3.0 mm，在 60 mm 工作距离下为 7.0 mm
• 通过标准导航拼接，可获得超宽视野 (1x)离子光学
• Sidewinder HT 离子镜筒，具有出色的高电流性能
• 加速电压：500 V - 30 kV
• 离子束电流范围：1.5 pA -65 nA
• 15 孔光阑
• 漂移矫正功能可轻松加工非导电样品
• 离子源最短寿命：1,000 小时
• 离子束分辨率：采用选择性边缘法，在 30 kV 下分辨率为 3.0 nm
探测器
• Trinity 探测系统（透镜内和镜筒内）
- T1 分割式透镜内下方探测器
- T2 透镜内上方探测器
- T3 镜筒内上方探测器（选配）
- 最多可同时采集四种信号
• Everhart-Thornley SE 探测器 (ETD)
• 用于探测二次离子（SI）和二次电子（SE）的高性能 ICE 探测器（选配）
• 伸缩式低电压、高衬度、分割式固态背散射电子探测器 (DBS)（选配）
• 带 BF/DF/HAADF 分段的可伸缩式 STEM 3+ 探测器（选配）
• 用于观察样品和样品仓的红外相机
• 仓内 Thermo Scientific ™ Nav-Cam ™ 样品导航相机（选配）
• 集成的电子束电流测量功能

载物台和样品
灵活的 5 轴电动载物台：
• XY 范围：110 mm
• Z 范围：65 mm
• 旋转：360°（无穷）
• 倾斜范围：-38°至 +90°
• XY 重复性：3 μm
• 最大样品高度：距中心点 85 mm
• 最大样品重量（0°倾斜时）：5 kg（含样品支架）
• 最大样品尺寸：样品直径为 110 mm 时，全方位旋转（若样品超过此限值，则旋转受限）
• 计算中心旋转和倾斜
真空系统
• 完全的无油真空系统
• 样品仓真空：< 6.3 x 10-6 mbar（抽真空 72 小时后）
• 抽真空时间：小于 3.5 分钟
样品仓
• 电子束和离子束重合点及分析工作距离：7 mm
• 端口：21
• 内宽：379 mm
样品支架
• 标配的多功能样品台，以独特的方式可快速安装在载物台上，最多可容纳 18 个标准样品台（Ø12 mm）、3 个预倾样品台、2 个垂直和 2 个预倾横杆架（38°和 90°），不需要工具即可快速安装样品
• 每个横杆架可容纳六个 STEM 载网（选配）
• 根据要求可提供各种晶圆的样品架（选配）
系统控制
• 64 位 GUI（Windows®11）、键盘和光学鼠标
• 可同时激活多达 4 个视图，分别显示不同束图像或信号，实时显示彩色混合信号
• 支持本地语言：请与当地赛默飞世尔销售代表联系，了解可用的语言包
• 32 英寸宽屏显示器，3840 x 2160 像素（可选配第二个显示器）
• 操纵杆（选配）
• 多功能控制台（选配）
• 远程控制和成像（选配）
图像处理器
• 驻留时间范围为 25 ns 到 25 ms/ 像素
• 最高 64k x 64k 像素
• 文件类型：TIFF (8、16、24 位 ), BMP 或 JPEG
• SmartSCAN 系统（含有 256 帧平均或积分、线积分和隔行扫描等功能）
• DCFI（漂移补偿帧积分）
支持软件
• “Beam per view”的图形用户界面，可同步激活多达四个视图
• Thermo Scientific SPI™ (同步FIB加工和SEM成像)、iSPI™ (间歇 FIB 加工和 SEM 成像 )、iRTM ™ ( 集成实时监视器 ) 和 FIB浸没模式，适用于高级、实时的 SEM 和 FIB 加工过程监控和终点检测
• 支持的图案：矩形、线条、圆形、精细截面抛光、截面粗切、多边形、位图、流文件、排除区域、阵列
• 可直接导入 BMP 文件或流文件，用于三维切割和沉积
• 材料文件支持“最短循环时间”、束流调节和独立重叠
• 图像配准功能，可用导入的图像导航样品位置
• 在光学图像上进行样品导航
• 具有“撤消”/“重做”功能
• FIB-SEM 常见应用功能的用户指南
• 具备用于 FIB 铣削的漂移矫正功能
 
附件（选配）
• GIS（气体注入系统）解决方案：
- 单支 GIS：多达 4 支气体注入系统，用于增强蚀刻或沉积
• GIS - 化学前驱体选项
- 铂沉积
- 钨沉积
- 碳沉积
- 绝缘体沉积
- Thermo Scientific™ Enhanced Etch™（碘，已获专利）
- Thermo Scientific™ Delineation Etch™（XeF2，已获专利）
- 选择性碳刻蚀（已获专利）
- 空坩埚，用于处理批准的用户提供的材料
- 根据客户实际需求提供更多的化学沉积和刻蚀解决方案
• Thermo Scientific™ EasyLift™ 系统用于精准的样品提取转移等操作
• FIB 荷电中和器
• 分析：EDS、EBSD、WDS、CL
• Thermo Scientific™ QuickLoader™：快速装卸样品，适用于快速更换样品且不破坏系统真空
• CleanConnect 惰性气体传输杆：适用于在惰性气体保护中传输空气敏感样品
• 独有的 Thermo Scientific™ CryoMAT ™：适用于材料样品的冷冻解决方案
• 第三方供应商提供的冷冻解决方案
• Thermo Scientific 隔音罩
• Thermo Scientific™ CryoCleaner™系统
• 集成的等离子体清洗装置
软件选项
• Thermo Scientific™ AutoTEM ™ 5 软件，用于快速、简便和高度自动化的 S/TEM 样品制备
• Thermo Scientific™ Auto Slice & View™ 5 软件：通过自动连续切片和成像，采集一系列切片的图像、EDS 或 EBSD 图用于三维重构
• Thermo Scientific™ Auto Cross Section™ 软件：自动制备样品的截面和自动拍摄 SEM 图像
• Avizo 软件：用于三维重构和分析
• Thermo Scientific™ Maps 软件：用于大区域自动图像采集、拼接和关联
• 支持 Web 的数据存档软件
• 高级图像分析软件